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シングルターゲットプラズマスパッタリングコーティング装置

ブランド Shenyang Kejing

製品の産地 遼寧省瀋陽市

納入時間 10営業日

供給能力 50セット

1. デスクトッププラズマスパッタリングコーターのセラミックシール高電圧電極ジョイントは、一般的に使用されているゴムシールよりも耐久性に優れています。
2. デスクトッププラズマスパッタリングコーターは、電界中のガスのイオン化特性に応じて、大容量のスパッタリング真空チャンバーと対応する面積のスパッタリングターゲットを使用して、スパッタリングコーティングをより均一かつ純粋にします。
3. デスクトッププラズマスパッタリングコーターはCE認証に合格しています。

シングルターゲットプラズマスパッタリングコーティング装置

コンパクトなシングルターゲットプラズマスパッタコーターの紹介:

グルコース-1100X-特別目的会社-16デスクトッププラズマスパッタリングコーターは、金、プラチナ、インジウム、銀などのさまざまな金属のスパッタリングコーティングを実行できるコンパクトなプラズマスパッタリング装置です。サンプルの直径は50mmに達し、コーティングの厚さは300Aに達します。特にSEMサンプルの表面のコーティングに適しています。コンパクトなシングルターゲットプラズマスパッタコーターには、機器の状態を表示および監視するためのサンプルスパッタリングチャンバー真空計とスパッタリング電流計が装備されています。特別に設計されたベルジャーエッジゴムシールは、長期使用中にガラスベルジャーが崩壊してサンプルスパッタリングチャンバーの真空度に影響を与えないようにします。セラミックシールの高圧ヘッドは、通常使用されるゴムシールよりも耐久性があります。コンパクトなシングルターゲットプラズマスパッタコーターはサイズが小さく、操作が簡単で、実験室での小さなサンプルのコーティングに適しています。


Desktop Plasma Sputtering Coater

デスクトッププラズマスパッタリングコーターの利点:

1. デスクトッププラズマスパッタリングコーターには、真空計とスパッタリング電流計が装備されており、動作状態をリアルタイムで監視できます。

2. コンパクトなシングルターゲットプラズマスパッタコーターは、スパッタリング電流コントローラとマイクロ真空エアバルブを調整して、真空チャンバー圧力、イオン化電流を制御し、必要なイオン化ガスを選択して、優れたコーティング効果を得ることができます。

3. コンパクトなシングルターゲットプラズマスパッタコーターのベルジャーの端にあるゴム製のシーリングリングは、ガラスベルジャーが長期使用中に崩壊しないように特別な設計を採用しています。


プラズマスパッタリングコーターの技術的パラメータ:

製品名

グルコース-1100X-特別目的会社-16 プラズマスパッタリングコーター

製品モデル

グルコース-1100X-特別目的会社-16

設置条件

この機器は、高度1000m未満、温度25℃±15℃、湿度55%右±10%Rhの範囲内で使用する必要があります。

1. 水: 必要ありません。

2. 電気: AC220V 50Hz、しっかりと接地する必要があります。

3. ガス: 装置チャンバーにアルゴン (純度 99.99% 以上) を充填する必要があり、独自のアルゴンガスボンベ (減圧弁付き) を用意する必要があります。

4.作業台:サイズ600mm×600mm×700mm、耐荷重50kg以上。

5. 換気装置:不要。

主なパラメータ

1.電源:220V。

2. 総電力: <2000W (真空ポンプを含む)。

3.真空チャンバー:Ø160mm×120mm。

4. サンプルステージ:Ø50mm、高さ調節可能、8つのSEMサンプルを同時にコーティングできます。

5. 最大均一コーティング:Ø45mm。

6. 製品仕様:

寸法:400mm×300mm×400mm。

重量:30kg。
Plasma Sputtering Coater


デスクトッププラズマスパッタリングコーターの標準付属品:

いいえ。名前数量写真
1金スパッタリングターゲット1個--
2入口ニードルバルブ1個--
3ヒューズ2個--


デスクトッププラズマスパッタリングコーターのオプションアクセサリ:

いいえ。名前関数写真
1金、インジウム、銀、プラチナ等の各種スパッタリングターゲット。(オプション)--


当社のサービス:

当社の製品は、優れた性能、安定した品質、耐久性で多くのお客様から認められています。当社には、製品の選択、設置と試運転、操作トレーニングなど、お客様に包括的なサービスサポートを提供できる専門技術チームがあります。使用中にどのような問題が発生しても、タイムリーで効果的なソリューションを提供できるよう最善を尽くします。ご利用をお待ちしております。
Compact single target Plasma Sputter Coater


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