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プラズマ3ターゲットスパッタリング装置
1. 3ターゲットプラズマスパッタリングコーターには真空計とスパッタリング電流計が装備されており、いつでも装置の動作を監視して、安定した信頼性の高いコーティング効果を実現できます。
2. 3 ターゲット プラズマ スパッタリング コーターは、真空チャンバーの圧力とイオン化電流を調整し、スパッタリング電流コントローラーとマイクロ真空エアバルブを通じて適切なイオン化ガスを選択して、コーティング効果を最適化します。
3. 特別に設計されたベルジャーエッジのゴムシールにより、長期使用後でもガラスベルジャーが割れることがなく、3ターゲットプラズマスパッタリングコーターの耐久性が向上します。
- Shenyang Kejing
- 瀋陽、遼寧
- 10営業日
- 50セット
- 情報
3ターゲットスパッタリングコーターのご紹介
一般用医薬品-1100X-SPC-16-3 三ターゲットスパッタリングコーターは、ダイオード（DC）直流スパッタリングの原理に基づいて設計された、シンプルで信頼性が高く、経済的なコーティング装置です（DCダイオードスパッタリングコーティングとは、真空環境下でターゲット材料に粒子を衝突させることで生じるスパッタリング効果を利用して、ターゲット材料の原子または分子を固体表面から弾き出し、基板上に堆積させて薄膜を形成するプロセスを指します。これは、物理蒸着（PVD）薄膜製造技術の一種です）。三ターゲットスパッタリングコーターの特徴は、真空チャンバー内に3つのターゲットが設置され、回転するサンプルステージによって3つの材料を同じサンプルに順番にコーティングできることです。そのため、実験室での各種複合膜サンプルの作製や、非導体材料の実験用電極の製造に適しています。三ターゲットスパッタリングコーターは小型で、実験室のスペースを節約し、操作が簡単で、特に実験室での使用に適しています。
3 ターゲット ヘッド プラズマ スパッタリング コーターの利点:
1. 3 つのターゲット ヘッドを備えたプラズマ スパッタリング コーターは、セラミックで密封された高電圧電極ジョイントを使用しており、従来のゴム製シールに比べて耐久性が高く、メンテナンス コストが削減されます。
2. 3 つのターゲット ヘッド プラズマ スパッタリング コーターは、大容量のスパッタリング真空チャンバーと対応する面積のスパッタリング ターゲットを使用しており、コーティングの均一性と純度を向上させることができます。
3. 3 つのターゲット ヘッド プラズマ スパッタリング コーターは CE 認証に合格し、安全基準を満たしています。
3ターゲットプラズマスパッタリングコーターの技術的パラメータ：
| 製品名 | 一般用医薬品-1100X-SPC-16-3 3ターゲットヘッドプラズマスパッタリングコーター |
| 製品モデル | 一般用医薬品-1100X-SPC-16-3 |
| 設置条件 | この装置は標高1000m未満、温度25℃±15℃、湿度55%ロジウム±10%Rhの範囲内で使用する必要があります。 1. 水: 必要ありません。 2. 電気: AC220V 50Hz、適切に接地する必要があります。 3. ガス: 装置チャンバーにはアルゴン（純度 99.99% 以上）を充填する必要があり、独自のアルゴンガスボンベ（減圧弁付き）を用意する必要があります。 4.作業台：サイズ600mm×600mm×700mm、耐荷重50kg以上。 5.換気装置：不要 |
| 主なパラメータ | 1.ターゲット直径：Ø45mm。 2.真空チャンバー：Ø160mm×120mm。 3.真空度：≤4×10-2mbar。 4. 目標位置：3。 5.最大電流：50mA。 6. 設定可能な制限時間: 900秒。 7.マイクロ真空エアバルブ：Ø3mmホースに接続します。 8.制限電圧：1600V DC。 9.機械式ポンプ：2L/秒。 |
3ターゲットプラズマスパッタリングコーターの標準付属品：
| いいえ。 | 名前 | 数量 | 写真 |
| 1 | 金スパッタリングターゲット | 1個 | -- |
| 2 | 銅スパッタリングターゲット | 1個 | -- |
| 3 | アルミニウムスパッタリングターゲット | 1個 | -- |
| 4 | 熱蒸発アクセサリ | 1 ピース | -- |
| 5 | ヒューズ | 2ピース | -- |
3ターゲットスパッタリングコーターのオプションアクセサリ：
| いいえ。 | 名前 | 関数 | 写真 |
| 1 | 金、インジウム、銀、プラチナ等の各種スパッタリングターゲット。 | （オプション） | -- |
私たちについて：
お客様の満足は私たちの揺るぎない目標です。私たちは常にお客様中心のサービスコンセプトを堅持し、包括的な技術サポートとアフターサービスを提供しています。製品選定のご提案、操作トレーニング、故障診断、メンテナンスサービスなど、当社のサービスチームはお客様のニーズに迅速に対応いたします。
