プラズマ3ターゲットスパッタリング装置
ブランド Shenyang Kejing
製品の産地 遼寧省瀋陽市
納入時間 10営業日
供給能力 50セット
1. 3 ターゲット プラズマ スパッタリング コーターには真空計とスパッタリング電流計が装備されており、いつでも装置の動作を監視して、安定した信頼性の高いコーティング効果を実現できます。
2. 3 ターゲット プラズマ スパッタリング コーターは、真空チャンバーの圧力、イオン化電流を調整し、スパッタリング電流コントローラーとマイクロ真空エアバルブを介して適切なイオン化ガスを選択して、コーティング効果を最適化します。
3. 特別に設計されたベルジャーエッジのゴムシールにより、長期使用後もガラスベルジャーが割れることがなく、3ターゲットプラズマスパッタリングコーターの耐久性が向上します。
3ターゲットスパッタリングコーターのご紹介：
グルコース-1100X-特別目的会社-16-3 3ターゲットスパッタリングコーターは、ダイオード（直流）直流スパッタリングの原理に基づいて設計された、シンプルで信頼性が高く経済的なコーティング装置です（DCダイオードスパッタリングコーティングとは、真空環境でターゲット材料に粒子を衝突させることで発生するスパッタリング効果を利用して、ターゲット材料の原子または分子を固体表面から放出し、基板上に堆積させて薄膜を形成するプロセスを指します。一種の物理蒸着（PVD）薄膜製造技術です）。3ターゲットスパッタリングコーターの特別な特徴は、3つのターゲットが真空チャンバーに設置されており、回転するサンプルステージが同じサンプルに3つの材料を順番にコーティングできることです。したがって、実験室でのさまざまな複合フィルムサンプルの作成や、非導体材料の実験用電極の製造に適しています。3ターゲットスパッタリングコーターはサイズが小さく、実験室のスペースを節約し、操作が簡単で、特に実験室での使用に適しています。
3 ターゲットヘッドプラズマスパッタリングコーターの利点:
1. 3 つのターゲット ヘッドを備えたプラズマ スパッタリング コーターは、セラミックで密封された高電圧電極ジョイントを使用しているため、従来のゴム製シールに比べて耐久性が高く、メンテナンス コストが削減されます。
2. 3 つのターゲット ヘッド プラズマ スパッタリング コーターは、大容量のスパッタリング真空チャンバーと対応する面積のスパッタリング ターゲットを使用し、コーティングの均一性と純度を向上させることができます。
3. 3 つのターゲット ヘッドを備えたプラズマ スパッタリング コーターは CE 認証に合格しており、安全基準を満たしています。
3ターゲットプラズマスパッタリングコーターの技術的パラメータ：
| 製品名 | グルコース-1100X-特別目的会社-16-3 3ターゲットヘッドプラズマスパッタリングコーター |
| 製品モデル | グルコース-1100X-特別目的会社-16-3 |
| 設置条件 | この機器は、高度1000m未満、温度25℃±15℃、湿度55%右±10%Rhの範囲内で使用する必要があります。 1. 水: 必要ありません。 2. 電気: AC220V 50Hz、しっかりと接地する必要があります。 3. ガス: 装置チャンバーにアルゴン (純度 99.99% 以上) を充填する必要があり、独自のアルゴンガスボンベ (減圧弁付き) を用意する必要があります。 4.作業台：サイズ600mm×600mm×700mm、耐荷重50kg以上。 5. 換気装置：不要。 |
| 主なパラメータ | 1.ターゲット直径：Ø45mm。 2.真空チャンバー：Ø160mm×120mm。 3.真空度：≤4×10-2mbar。 4. 目標位置: 3. 5.最大電流：50mA。 6. 設定可能な制限時間: 900秒。 7. マイクロ真空エアバルブ：Ø3mmホースに接続します。 8. 制限電圧：1600V 直流。 9. 機械式ポンプ：2L/s。 |
3ターゲットプラズマスパッタリングコーターの標準付属品：
| いいえ。 | 名前 | 数量 | 写真 |
| 1 | 金スパッタリングターゲット | 1個 | -- |
| 2 | 銅スパッタリングターゲット | 1個 | -- |
| 3 | アルミニウムスパッタリングターゲット | 1個 | -- |
| 4 | 熱蒸発アクセサリ | 1 ピース | -- |
| 5 | ヒューズ | 2個 | -- |
3ターゲットスパッタリングコーターのオプションアクセサリ：
| いいえ。 | 名前 | 関数 | 写真 |
| 1 | 金、インジウム、銀、プラチナ等の各種スパッタリングターゲット。 | （オプション） | -- |
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