小型DCマグネトロンプラズマスパッタリング装置

1. 小型マグネトロンプラズマスパッタリング装置の入力電源：220V 交流 50/60Hz

2. ラボ用DCマグネトロンスパッタリングコーターの電力：<1000W

3. ラボ用DCマグネトロンスパッタリングコーターの出力電圧：DC 500V

4. スパッタリング電流：0～80mA、調整可能

5. スパッタリング時間：0～120秒、調整可能

1. 石英チャンバー寸法：外径166mm×内径150mm×高さ150mm

2. シール：フッ素ゴムOリング

3. ターゲットのプレスパッタリングを行うために、フランジカバーに手動操作可能なシャッターが取り付けられています。6.35mm径の圧縮継手が空気入口ポートとして機能し、空気入口パイプを接続します。手動エアブリードバルブを使用して、石英チャンバー内に空気を充填します。

4. プラズマを遮蔽するために、ステンレススチールのメッシュが石英チャンバー全体を覆います。

5. ハウジングの右側にあるマイクロ精密制御バルブを調整することで、チャンバー内への作動ガスの流量を制御し、チャンバー内の真空レベルを調整します。

6. スパッタリング電流は、ハウジングの右側にあるポテンショメータを調整することによって制御されます。

1. 水冷のない2インチマグネトロンスパッタリングターゲットヘッド。マグネトロンスパッタリングターゲットヘッドの最高動作温度は80℃です。80℃を超えると、マグネトロンスパッタリングターゲットヘッドは磁性を失い、動作不能になります。

2. スパッタリング時間：1～120秒まで調整可能

3. 標準銅ターゲット付属

4. ターゲットサイズ要件：φ2" x（0.5-5）mmの厚さ

5. オー、農業、Cuなどの金属のスパッタリングに適しています（弊社でもご購入いただけます）。

1. 高さを調整できるサンプルステージ。サンプルステージとターゲット間の距離は 25 ～ 70 んん に調整できます。

2.サンプルステージサイズ：φ2"

3. オプションのサンプルステージ加熱、最大加熱温度は 500°C。

1. 測定範囲: 1 × 10-4 ミリバール ～ 1000 ミリバール (1 × 10-4 ～ 750 トル)

2. 精度: 1000 ミリバール ～ 20 ミリバール (読み取り値の 30%)

20～0.002 ミリバール（読み取り値の2%）

3. 再現性: 20～0.002 ミリバール (0.000～0.002 ミリバール) 2%)

4. 動作湿度：30℃で80%以下、40℃で50%以下、結露なし。

5. 動作温度：5℃～60℃

1. 精密石英振動膜厚計を搭載しており、0.10Åの分解能で膜厚をリアルタイムにモニタリングできます。

2. LEDディスプレイは、フィルム厚さデータの表示と入力の両方を提供します。

1. モデル: VRD-8

2. ポンプ速度：2.2 L/s

3. モーター出力：370W

4. 到達圧力：5 × 10-1 パ（無負荷）

5. 実圧力：≤ 5 パ（冷間条件下で20分間の機械ポンピング）

6. より高い真空レベル（10-5 トン以上）が必要な場合は、国産または輸入の高真空ユニットをご利用いただけます。

寸法: 500mm × 350mm × 550mm (長さ × 幅 × 高さ)

重量：約20kg（真空ポンプおよび水冷装置を除く）

1. 所望の膜厚を達成するには複数回のスパッタリングサイクルが必要です。

2. スパッタリングを行う前に、スパッタリングヘッド、ターゲット、基板、サンプルステージが清潔であることを確認します。

3. フィルムと基板間の良好な接着を確保するために、スパッタリング前に基板表面を洗浄します。

1 年間の保証と生涯にわたる技術サポート。

特記事項:

1. 発熱体、石英管、サンプルるつぼなどの消耗品は保証の対象外です。

2. 腐食性ガスや酸性ガスの使用による損傷は保証の対象外となります。

· チャンバー内の圧力は0.02MPa（相対圧力）を超えてはなりません。

・ガスボンベの内圧は比較的高いため、石英管にガスを導入する際には、ボンベに減圧弁を取り付ける必要があります。安全確保のため、0.02MPa以下の圧力で操作することをお勧めします。より精度と安全性を高めるために、0.01MPa～0.1MPaの範囲で使用できる当社の減圧弁のご購入をお勧めします。

・可燃性、爆発性、または毒性ガスの使用は推奨しません。プロセスにおいて可燃性、爆発性、または毒性ガスを使用する必要がある場合は、適切な保護および防爆対策を実施してください。当社は、可燃性、爆発性、または毒性ガスの使用に起因するいかなる問題についても責任を負いません。