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プラズマ3ターゲットスパッタリング装置
1. 3 ターゲット プラズマ スパッタリング コーターには真空計とスパッタリング電流計が装備されており、いつでも装置の動作を監視して、安定した信頼性の高いコーティング効果を実現できます。 2. 3 ターゲット プラズマ スパッタリング コーターは、真空チャンバーの圧力、イオン化電流を調整し、スパッタリング電流コントローラーとマイクロ真空エアバルブを介して適切なイオン化ガスを選択して、コーティング効果を最適化します。 3. 特別に設計されたベルジャーエッジのゴムシールにより、長期使用後もガラスベルジャーが割れることがなく、3ターゲットプラズマスパッタリングコーターの耐久性が向上します。
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