3ターゲットマグネトロンスパッタリング装置

3ターゲット真空コーティング装置の導入：

VTC-600-3HD-1000三ターゲット真空コーティング装置は、当社が新たに開発した高真空コーティング装置です。単層または多層の強誘電体膜、導電膜、合金膜、半導体膜、セラミック膜、誘電体膜、光学膜、酸化膜、硬質膜、ポリテトラフルオロエチレン膜などを作製できます。 VTC-600-3HD-1000三ターゲット真空コーティング装置は、3つのターゲットガンと3つの電源を備えており、1つのRF電源は非導電性材料のスパッタリングコーティングに使用され、1つのDC電源は導電性材料のスパッタリングコーティングに使用され、強力な磁性ターゲットは強磁性材料のスパッタリングコーティングに使用できます。 同様の装置と比較して、三ターゲット真空コーティング装置は小型で操作が簡単、幅広い材料を使用できるなどの利点があり、実験室でさまざまな材料のフィルムを作製するための理想的な装置です。

高真空トリプルターゲットスパッタコーターの主な特長：

1. 高真空トリプルターゲットスパッタコーターには 3 つのターゲットガンが装備されており、非導電性ターゲット材料のスパッタリングコーティングには 2 つのマッチング 無線周波数 電源が使用され、導電性材料のスパッタリングコーティングには 1 つのマッチング DC 電源が使用されます。

2.高真空トリプルターゲットスパッタコーターは、さまざまな薄膜を作製できるため、広く使用されています。

3.高真空トリプルターゲットスパッタコーターは小型で操作が簡単です。

3ターゲットコーティング装置の技術的パラメータ：

オプションアクセサリ

いいえ。	名前	機能カテゴリ	画像
1	各種ターゲット（金、インジウム、銀、プラチナなど）	オプション	-
2	強磁性ターゲット（強磁性材料スパッタリング用）	オプション	-
3	マスク	オプション	-
4	振動サンプルステージ	オプション	-
5	二層回転コーティング治具	オプション

保証：

1 年間限定で永久サポート付き (不適切な保管条件により錆びた部品は除く)。

ロジスティクス

私たちについて：

当社は長年にわたりフィルム製造分野に深く関わり、豊富な経験を有しています。同時に、お客様の多様なニーズにお応えできるよう、様々な素材に適した設備を豊富に取り揃えております。また、設備の効果検証も承っております。サンプルをご提供いただければ、製品の効果をより直感的にご確認いただけるよう、サンプルをご用意いたします。製品にご満足いただけましたら、ご購入いただき、よりスムーズな作業を実現いたします。

ご相談からアフターサービスまで、すべてのお客様に最高のサービスを提供いたします。専門チームがお客様に最適な機器のご提案、製品使用中の技術サポート、ご質問への回答、そしてプロジェクトの円滑な遂行をサポートいたします。長年の経験を活かし、より多くの企業の目標達成を支援できると確信しております。