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デュアルヘッド高真空マグネトロンプラズマスパッタリングコーター
VCTC の-600-2HDデュアルヘッドマグネトロンスパッタリングコーターは、当社が新たに開発した高真空コーティング装置であり、単層または多層の強誘電体膜、導電膜、合金膜、半導体膜、セラミック膜、誘電体膜、光学膜、酸化膜、硬質膜、PTFE膜などを作成するために使用されます。 VCTC の-600-2HDデュアルヘッドマグネトロンスパッタリングコーターには、2つのターゲットガンと2つの電源が装備されており、1つは非導電性材料のスパッタコーティング用のRF電源、もう1つは導電性材料のスパッタコーティング用のDC電源です。
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