連続多室蒸着コーティングシステム

蒸着真空コーティング装置の紹介： 

GSL-1800X-ZF-AM連続蒸着コーティング装置は、高真空下で連続的に試料を注入するプロ仕様の蒸着コーティング装置です。この連続蒸着コーティング装置は、搬送室と蒸着コーティング室を備えたマルチチャンバー構造を採用しており、安定した真空環境下で連続的な試料搬送と自動コーティング操作を実現します。基板ホルダーは2つのチャンバー間を往復運動し、周波数変調モーターによって駆動される完全自動同期動作を実現します。往復位置と速度は設定可能で、デュアルチャンバー位置決め機能と原点リセット機能を備えているため、実験効率とコーティングの再現性が大幅に向上します。

連続蒸着コーティング装置は、酸素に敏感な金属材料（ティ、アル、Auなど）や低分子有機材料の蒸着コーティングに特に適しています。熱蒸着真空コーティングシステムは、それぞれ独立して制御可能な4つの蒸着加熱ボートを備えており、各ボートは独立した蒸着プロセスを実行できます。各加熱ボートの上部には回転式バッフル構造が設けられており、単一ボート運転時に他のボートを効果的に遮蔽し、蒸着材料の相互汚染を防ぎ、膜の純度を確保します。

構成を一部変更することで、この熱蒸着真空コーティングシステムは様々な有機材料の蒸着コーティングにも対応できるため、OLED発光デバイスや有機太陽電池（OPV）などの先端材料の研究に最適です。チャンバー底部には5つの水冷式電極が配置されており、高温蒸着中に電極を継続的に保護することで、熱溶融による損傷を防ぎ、システムの耐久性と安定性を向上させます。

GSL-1800X-ZF-AM熱蒸着真空コーティングシステムは、高信頼性の金属製真空チャンバーを採用し、最大5.0 × 10⁻⁷ Torrのシステム真空度を実現しています。サンプルステージはサンプルを加熱（室温～500℃）することができ、高品質な薄膜成膜のための安定した制御可能な熱環境を提供します。高い真空性能、プロセスの柔軟性、そして優れたコストパフォーマンスを備えたこの熱蒸着真空コーティングシステムは、高真空蒸着コーティングの研究を行う研究機関や研究所にとって理想的な選択肢です。

蒸着真空コーティング機の利点：

・連続蒸着コーティング装置のマルチチャンバー設計：移送チャンバーと蒸着コーティングチャンバーで構成され、迅速かつ連続的なサンプル蒸着コーティングを可能にします。

・集中型真空制御管理：真空ユニットは操作しやすいように統合制御ボックスに統合されています。

・独立した蒸発電流制御：蒸発速度の精密な調整を容易にします。

・ チャンバーには、KF40バイパスバルブ（排気効率向上のため前段ポンプに直接接続）、CF150ゲートバルブ（分子ポンプに直接接続）、KF16フランジ（抵抗計取り付け用）、CF35フランジ6個（電離度計用1個、2ピン電極用1個、膜厚計用1個、予備インターフェース3個）が装備されています。

・ 高効率水冷システム：チャンバー底部には5つの水冷式電極が配置され、4つの蒸着加熱ボートを同時に支えます。

・ 蒸着真空コーティング装置の試料ステージは、設置と操作が容易なように上部に取り付けられた設計になっています。

・ オプションの高解像度膜厚計：アルミニウム膜厚の測定精度は最大0.1Å。

・ 蒸発式真空コーティング装置には、長期的な運転安定性を確保するために、循環水式チラーを装備することができる。

蒸着真空コーティング装置の技術仕様：

私たちについて：

当社は科学研究市場に特化した企業として、主に大学、研究機関、研究所を顧客としています。革新的な技術、顧客重視の姿勢、そして専門的かつ効率的な科学研究サービスの提供を通じて、常に社会に貢献することを目指しています。私たちの目標は、信頼され、尊敬され、国際的な影響力と競争力を持つ科学研究機器分野のリーダーとなることです。