脱ガム：VTC-200-4Pスプレースピンコーターを用いた湿式脱ガムプロセスでは、有機溶剤をパターン表面のフォトレジスト膜に滴下することで、フォトレジスト膜を溶解・除去し、きれいなパターンを残します。コーティングに使用可能なコーティング装置には、VTC-100PA真空スピンコーター、VTC-100PA-Ⅰ上蓋加熱真空スピンコーター、VTC-100真空スピンコーター、VTC-200真空スピンコーター、VTC-200PV真空ロータリーコーティング機、VTC-200-4Pスプレーロータリーコーティング機、VTC-100PA-UV紫外線スピンコーターなどがあります。具体的なプロセスに応じて、異なるスピンコーターを選択できます。

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