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真空・大気圧制御スピンコーター
VCTC の-200PV 真空スピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、プレート製造、表面コーティングなどに適しています。VCTC の-200PV 真空スピンコーターのチャンバーは真空にすることができ、完全な真空状態でサンプルをコーティングできるため、空気中で酸化され劣化しやすいフィルム材料に適しています。チャンバーを真空にするときは、クランプを使用してサンプルを固定します。この装置は 12 セットのプログラムを保存でき、各セットには 6 つの実行ステージが含まれています。
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10000 回転数 超高速スピンコーター
VCTC の-100PAX 真空スピンコーターは、高性能の精密接着剤レベリングマシンです。高度な設計コンセプトを採用し、高精度で均一性の高い接着剤塗布操作を実現する精密なモーションコントロールシステムと連携します。6 グループのプログラムを保存でき、各プログラムは 9 ステップまで実行できます。速度、加速度、回転時間など、すべての操作パラメータはデバイス上で簡単に設定できます。
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20000 回転数 超高速スピンコーター
VCTC の-100PAH 真空スピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、製版、表面コーティングなどに適しています。サンプルは真空吸着によって固定されるため、サンプルを自由に取り出して配置できます。モーターは迅速かつ安定して始動するため、コーティングの厚さの一貫性と均一性を確保できます。
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グローブボックス内で使用するデスクトップ真空レススピンコーター
VCTC の-50A-直流 スピンコーターは、モーター部分と制御部に独立した電源システムを採用し、速度制御システムは干渉に強いシングルチップマイクロコンピュータを採用して制御するため、回転速度は 1000～8000RPM の範囲で非常に高く安定しています。コーターは動作中に 2 つのステージ、つまり低速時の T1 ステージと高速時の T2 ステージを備えています。
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高速スピンコーター（10K 回転数、最大5インチ）グローブボックスで使用
VCTC の-100PA-直流 真空スピンコーターには、異なるサイズの 3 つの真空チャック (標準) が装備されており、サンプルのサイズに応じて異なる真空チャックを使用できます。作業中、VCTC の-100-直流 真空スピンコーターは真空プレート吸着方式を使用してサンプルをサンプルプレートに固定します。この装置は 2 段階プログラムを使用して速度を制御します。
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スピンスプレーコーター（2000 回転数、最大6インチ）加熱カバー付き
VCTC の-200-4P赤外線加熱スプレースピンコーター（グルーレベラー、デベロッパー、グルースピナー、スピンコーター）は、上部カバーの加熱機能を備えており、主に半導体および製版技術におけるグラフィックスおよび表面コーティングの開発に使用されます。 グルーレベリングまたは現像プロセスの後、コロイドフィルム内の溶媒は最低含有量まで蒸発します。 作業プロセス中、現像液またはコロイドは霧の形でサンプルにスプレーされるため、溶液はサンプル表面に均一に分散され、フィルムと現像プロセスのスムーズなパフォーマンスに役立ちます。
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耐腐食スピンコーター（6K 回転数、最大6インチウェーハ） -
VCTC の-200P 真空スピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、製版、表面コーティングなどに適しています。この装置は 12 セットのプログラムを保存でき、各セットには 6 つの実行ステージが含まれています。チャンバーの上部カバーはサンプルを加熱することができ (オプション機能)、高粘度の薄膜材料のコーティングプロセスに役立ちます。
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