真空ポンプ付きプラズマクリーナー

PCE-6小型プラズマクリーナーのプラズマチャンバーは、Ø160mm×190mmの石英チャンバーです。使用するRF電力は3.0MHz（1％）で、出力電力は7.2W、10.2W、29.6Wの3段階で調整可能です。この機械は主に空気、酸素、アルゴンなどのガスのプラズマを通じて基板上の酸化膜や汚染物質を除去し、物体の表面特性（親水性、疎水性など）を変えることもできます。

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高RF電源を備えたプラズマクリーナー

PCE-6V小型プラズマクリーナーは、RFプラズマ生成技術、コンピュータ制御技術、ソフトウェアプログラミング技術を統合し、ガスを洗浄媒体として使用することで、液体洗浄媒体による二次汚染を効果的に回避します。PCE-6V小型プラズマクリーナーのサンプルステージには加熱機能を備え、サンプルのプラズマエッチングに負のバイアス電圧を印加できます。さらに、特定の条件下で必要に応じて特定の材料表面の特性を変えることができます。

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大気圧プラズマジェットフローシステム（プラズマペン）

グルコース-1100X-ＰＪＦ-(A) プラズマ表面処理装置は、表面処理用のコンパクトな大気圧プラズマジェットフローシステムで、主に高周波発生器とプラズマビームヘッドで構成されています。ジェットフロープラズマビームは、低温および非真空条件下で材料（シングルウェーハ、光学部品、プラスチックなど）の表面を活性化および洗浄できます。

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自動スキャンシステムを備えた大気圧プラズマビーム

グルコース-1100X-ＰＪＦ-A プラズマ表面処理装置は、表面処理用のコンパクトな大気圧プラズマジェットフローシステムで、主に高周波発生器とプラズマビームヘッドで構成されています。ジェットフロープラズマビームは、低温および非真空条件下で材料（シングルウェーハ、光学部品、プラスチックなど）の表面を活性化および洗浄することができ、洗浄速度が速いです。

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