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真空ポンプ付きプラズマクリーナー
PCE-6小型プラズマクリーナーのプラズマチャンバーは、Ø160mm×190mmの石英製チャンバーです。使用RF電力は3.0MHz（1%）で、出力は7.2W、10.2W、29.6Wの3段階に調整可能です。本装置は、空気、酸素、アルゴンなどのガスをプラズマ化し、主に基板上の酸化膜や汚染物質を除去するほか、対象物の表面特性（親水性・疎水性など）を変化させることもできます。
- Shenyang Kejing
- 瀋陽、中国
- 10営業日
- 50セット
- 情報
製品紹介
そのPCE-6 コンパクトプラズマクリーナーØ160 んん × 190 mmの石英プラズマチャンバーを備え、3.0 MHz (±1%) で動作する 高周波 電源を搭載し、7.2 W、10.2 W、29.6 W の 3 つの調整可能な出力電力レベルを備えています。
このシステムは、空気、酸素、アルゴンなどのガスから生成されたプラズマを用いて、基板上の酸化物や汚染物質を除去するとともに、表面特性（親水性または疎水性など）を改質します。基板洗浄や薄膜処理に最適です。
PCE-6はコンパクトで省スペースなため、実験室環境に最適です。チャンバー内の真空排気とアルゴンなどのガス導入を可能にするデュアルロータリー真空ポンプを搭載しており、特に酸化されやすい材料の洗浄に適しています。
主な特徴
1. コントロールパネルのボタンとスイッチを通じて、高周波 電力、真空ポンプの開閉、およびクリーニング時間を制御および調整できます。
2. 時間、電力、真空度などの情報が 4 つのデジタル チューブに表示されます。
3. 三方弁を装備し、吸入空気量を正確に制御し、大気でチャンバー内をクリーンアップします。吸入インターフェースは6mmのカードスリーブインターフェースです。
4. プラズマエッチングおよびアッシング実験を実行するために、大出力RF電源装置が選択されます。
T技術的パラメータ
製品名 | PCE-6 小型プラズマクリーナー |
製品モデル | PCE-6 |
主なパラメータ （仕様） | 1.電源：AC220V 50/60Hz 2.出力：7.2W、10.2W、29.6W 3. 真空ポンプ電力：<500W 4. 総電力: <600W 5. RF周波数：3.0MHz、電力は3段階で手動で調整可能 6. プラズマチャンバー：高純度石英チャンバー（Ø160mm×190mm）、アルミ製折り畳みフランジで密閉、フランジ上にØ45mmの観察窓あり 7.真空ポンプ：120L/分、直結型二段回転真空ポンプ 8. 到達真空度：50mtorr 9. ガス導入：プラズマを生成するために、Nなどの様々なガスを導入することができる。2、アル、H2洗浄およびエッチング用のO2、空気および混合ガス（材料特性に応じて選択） |
製品の寸法と重量 | 寸法：400mm×300mm×300mm で八：10.2kg |
オプションアクセサリ
| いいえ。 | 名前 | 機能カテゴリ | 画像 |
| 1 | 2"-6" クォーツボート/キャリア（基板保持用） | オプション | - |
| 2 | 2～4チャンネルプロトンまたはフロートガス混合システム | オプション | - |
保証
1 年間限定の永久サポート（不適切な保管条件による錆びた部品は除く）
ロジスティクス
