真空ポンプ付プラズマクリーナー
ブランド Shenyang Kejing
製品の産地 瀋陽、中国
納入時間 10営業日
供給能力 50セット
PCE-6小型プラズマクリーナーのプラズマチャンバーは、Ø160mm×190mmの石英チャンバーです。使用する RF 電力は 3.0MHz (1%) で、出力電力は 7.2W、10.2W、29.6W の 3 段階で調整可能です。この装置は、主に空気、酸素またはアルゴンおよびその他のガスのプラズマによって基板上の酸化層および汚染物質を除去し、物体の表面の特性 (親水性および疎水性など) を変更することもできます。
主な特徴
1. コントロール パネルのボタンとスイッチを使用して、RF 電力、真空ポンプの開閉、クリーニング時間を制御および調整できます。
2. 時間、電力、真空度などの情報が 4 つのデジタル管のグループに表示されます。
3.三方弁を装備し、吸入空気の流れを正確に制御し、大気でチャンバーをきれいにすることができます。インテーク インターフェイスは 6mm カード スリーブ インターフェイスです。
4. プラズマ エッチングおよびアッシング実験を行うために、大電力 RF 電源装置が選択されます。
T技術パラメータ
商品名 | PCE-6 小型プラズマクリーナー |
製品モデル | PCE-6 |
主なパラメータ （仕様） | 1.電源：AC220V 50/60Hz 2.出力電力：7.2W、10.2W、29.6W 3.真空ポンプ出力：<500W 4. 総電力: <600W 5. RF 周波数: 3.0MHz、電力は 3 段階で手動で調整可能 6. プラズマ チャンバー: Ø160mm×190mm の高純度石英チャンバー、フランジに Ø45mm の観察窓を備えたアルミニウム製の折り畳みフランジで密閉 7. 真空ポンプ：120L/min 直結式2段ロータリー真空ポンプ 8.到達真空度：50mtorr 9. ガス導入：プラズマを生成するために、N などのさまざまなガスを導入できます。2、Ar、H2、O2、空気および混合ガス (材料特性に応じて選択) 洗浄およびエッチング用 |
製品の寸法と重量 | 寸法：400mm×300mm×300mm の八：10.2kg
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オプションのアクセサリ | 1.2"-6"石英ボート・キャリア（基板保持用） 2. 2-4 チャネル プロトンまたはフロート ガス混合システム |
保証
ライフタイムサポート付きの1年間限定（不適切な保管条件による錆びた部品を除く）
ロジスティクス
