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自動走査システムを備えた大気圧プラズマビーム

一般用医薬品-1100X-PJF-Aプラズマ表面処理装置は、表面処理用のコンパクトな大気圧プラズマジェットフローシステムで、主に高周波発生装置とプラズマビームヘッドで構成されています。ジェットフロープラズマビームは、低温・非真空条件下で材料(単結晶ウェハ、光学部品、プラスチックなど)の表面を活性化・洗浄することができ、洗浄速度も高速です。

  • Shenyang Kejing
  • 瀋陽、中国
  • 22営業日
  • 50セット
  • 情報

製品紹介

一般用医薬品-1100X-PJF-Aプラズマ表面処理装置は、主にRFジェネレータとイオンビームヘッドで構成されるコンパクトな大気圧プラズマジェット装置です。放出されたイオンビームは、ウェハ、光学部品、プラスチックなどの材料表面を、真空環境を必要とせずに低温で迅速かつ効果的に活性化・洗浄します。そのため、高品質のエピタキシャル膜成長や光学コーティングの成膜前の表面前処理に最適な装置です。

本システムはサンプルステージを搭載しており、搭載されたサンプルをX、Y、Z軸に沿って一定範囲内で連続的に移動させることができます。洗浄中もイオンビームはジッターなく安定しており、処理後の表面品質の均一性を確保します。コンパクトな設計で、低温・非真空環境下でも高い効率を実現し、高精度な表面処理に最適なソリューションを提供します。


主な特徴

1. 簡単な操作で材料表面を高速処理し、安全で信頼性があります。

2. 真空およびチャンバー環境は不要です。

3. 小型で実用的、コストが低い。

4. コンパクトな構造で軽量です。

5. CE認証済み。


技術的パラメータ

製品名

一般用医薬品-1100X-PJF-A プラズマ表面処理装置

製品モデル

一般用医薬品-1100X-PJF-A

主なパラメータ

(仕様)

機械の主要部分

1. 電源:220V、50Hz

2. XY軸:

   * 操作方法:パネル操作

   * 移動距離: 1-150mm、速度 1-500mm/s

   Z軸:

   * 制御方法:手動制御

   * 移動距離: 1~50mm

3. 清掃間隔:1~100mm

4. 外形寸法:550mm(幅)×650mm(奥行き)×920mm(高さ)


プラズマコントローラー部

1. 入力電源: AC220V、体育、50Hz

2.入力電圧調整範囲:190~250V

3.本体重量:17kg

4. 動作周囲温度:<42℃

5.相対湿度:≤40℃RH

6.電圧調整範囲:240~300V

7. 入力ガス源圧力≥4 バー

8.最大電力:1000VA

9. 周波数: 20~23kHz

10. プラズマ作動圧力:0.5~0.7 バー(調整可能)

11. 圧力保護制御 - 最低点: 0.4bar、最高点: 0.8bar

12. ノズル加工幅 - 丸ノズル:10~12mm、平ノズル:15~18mm

製品寸法

13. 製品仕様
       · プラズマクリーナー本体寸法:405 × 215 × 600 んん
       ・筐体寸法:550 × 600 × 900 んん




保証

    1 年間限定の永久サポート(不適切な保管条件による錆びた部品は除く)



ロジスティクス

plasma cleaner


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