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高RF電源付きプラズマクリーナー
PCE-6V小型プラズマクリーナーは、RFプラズマ生成技術、コンピュータ制御技術、ソフトウェアプログラミング技術を統合し、ガスを洗浄媒体として使用することで、液体洗浄媒体による二次汚染を効果的に回避します。PCE-6V小型プラズマクリーナーのサンプルステージには加熱機能を搭載でき、負バイアス電圧を印加してサンプルをプラズマエッチングすることができます。さらに、特定の条件下で、必要に応じて特定の材料表面の特性を変化させることもできます。
- Shenyang Kejing
- 瀋陽、中国
- 10営業日
- 50セット
- 情報
主な特徴
1. 洗浄媒体としてガスを使用すると、液体洗浄媒体による二次汚染を回避できます。
2. 有機汚染物質を短時間で徹底的に除去できます。
3. 洗浄度は分子レベルまで到達します。
4. 一部の材料表面の特性は、特定の条件下で必要に応じて変更できます。
5. 洗浄工程におけるグロー放電は、一部の特殊用途材料の接着性、適合性、濡れ性を高め、消毒や殺菌を行うことができます。
6. サンプルステージに加熱機能を搭載することができ、プラズマエッチングのために負バイアスを加えることができます。
7.光学、光電子工学、電子工学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、マイクロ流体工学などの分野で広く使用されています。
技術的パラメータ
製品名 | PCE-6V 小型プラズマクリーナー | |
製品モデル | PCE-6V | |
主なパラメータ （仕様） | 1.電圧：AC220V 10A 2.消費電力：<500W（真空ポンプを含む） 3. RF電源：出力100W、出力周波数13.56MHz 4. チャンバー：Ø190mm×98mm 5. 石英管：Ø180mm×55mm、壁厚7mm 6. 内腔：Ø165mm×55mm 7. 洗浄電極：Ø120mm 8. サンプルステージ：Ø150mm、有効サイズØ140mm 9. サンプルステージと電極間の距離：15mm～50mm調整可能 10.排気管：Ø12mm 11. 到達真空度：0.1Pa 12. 作動真空度：60Pa～500Pa 13. エアチャンネル数：2（オプション） 14. 流量制御装置の数: 1、2 15. フローインジケータ：2チャンネル 16. 空気圧インターフェース：Ø6mm 17. 加熱サンプルステージ：Ø100mm、加熱サンプル温度200℃～500℃（オプション） 18.冷却水圧力：0.2kPa～0.4kPa 19.作業環境：温度5℃〜35℃、湿度<80％（相対湿度）、結露なし。 | |
製品の寸法と重量 | 寸法：245mm×235mm×460mm（真空ポンプを除く） 重量：20kg（真空ポンプなし） |
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オプションアクセサリ
| いいえ。 | 名前 | 機能カテゴリ | 画像 |
| 1 | 加熱サンプルステージ | オプション | - |
| 2 | フローコントローラ（範囲10、50、100、追加可能なチャネル数は≤2） | オプション | - |
保証
1 年間限定の永久サポート（不適切な保管条件による錆びた部品は除く）
ロジスティクス
