高RF電源を備えたプラズマクリーナー
ブランド Shenyang Kejing
製品の産地 瀋陽、中国
納入時間 10営業日
供給能力 50セット
PCE-6V小型プラズマクリーナーは、RFプラズマ生成技術、コンピュータ制御技術、ソフトウェアプログラミング技術を統合し、ガスを洗浄媒体として使用することで、液体洗浄媒体による二次汚染を効果的に回避します。PCE-6V小型プラズマクリーナーのサンプルステージには加熱機能を備え、サンプルのプラズマエッチングに負のバイアス電圧を印加できます。さらに、特定の条件下で必要に応じて特定の材料表面の特性を変えることができます。
主な特徴
1. 洗浄媒体としてガスを使用すると、液体洗浄媒体による二次汚染を回避できます。
2. 有機汚染物質を短時間で徹底的に洗浄できます。
3. 洗浄度は分子レベルまで達します。
4. 一部の材料表面の特性は、特定の条件下で必要に応じて変更できます。
5. 洗浄工程におけるグロー放電は、一部の特殊用途材料の接着性、適合性、濡れ性を高め、消毒や殺菌を行うことができます。
6. サンプルステージに加熱機能を搭載し、プラズマエッチング用に負バイアスを加えることができます。
7. 光学、光電子工学、電子工学、材料科学、生命科学、高分子科学、生物医学、マイクロ流体工学などの分野で広く使用されています。
T技術的パラメータ
商品名 | PCE-6V 小型プラズマクリーナー |
製品モデル | PCE-6V |
主なパラメータ （仕様） | 1. 電圧: AC220V 10A 2. 消費電力：<500W（真空ポンプを含む） 3. RF電源：出力100W、出力周波数13.56MHz 4.チャンバー：Ø190mm×98mm 5. 石英管：Ø180mm×55mm、壁厚7mm 6. 内径：Ø165mm×55mm 7. 洗浄電極：Ø120mm 8. サンプルステージ：Ø150mm、有効サイズØ140mm 9.サンプルステージと電極間の距離：15mm〜50mm調整可能 10. 排気管：Ø12mm 11. 到達真空度：0.1Pa 12. 作動真空度：60Pa-500Pa 13. エアチャンネル数：2（オプション） 14. フローコントローラの数: 1、2 15. フローインジケータ：2チャンネル 16. 空気圧インターフェース: Ø6mm 17. 加熱サンプルステージ：Ø100mm、加熱サンプル温度200℃～500℃（オプション） 18.冷却水圧力：0.2kPa～0.4kPa 19.作業環境：温度5℃〜35℃、湿度<80％（相対湿度）、結露なし、高度0〜2000m |
製品の寸法と重量 | 寸法：245mm×235mm×460mm（真空ポンプを除く） 重量: 20kg (真空ポンプなし)
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オプションのアクセサリ&注意; &注意;&注意; | 1. サンプルステージの加熱 2. フローコントローラ（範囲10、50、100、追加可能なチャネル数は≤2） |
保証
&注意;&注意;&注意;&注意;1 年間限定、生涯サポート付き (不適切な保管条件による錆びた部品は除く)
ロジスティクス
