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耐腐食スピンコーター (6K 回転数 &アンプ ; 6 インチウェハー最大)
VTC -200P 真空スピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、製版、表面コーティングなどに適しています。この装置は 12 セットのプログラムを保存でき、各セットには 6 つの実行ステージが含まれています。チャンバー上部のカバーはサンプルを加熱することができます（オプション機能）。これは、高粘度の薄膜材料のコーティングプロセスに有益です。
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耐腐食スピンコーター (6K 回転数 &アンプ ; 6 インチウェハー最大) -
VTC -200P 真空スピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、製版、表面コーティングなどに適しています。この装置は 12 セットのプログラムを保存でき、各セットには 6 つの実行ステージが含まれています。チャンバー上部のカバーはサンプルを加熱することができます（オプション機能）。これは、高粘度の薄膜材料のコーティングプロセスに有益です。
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