耐腐食スピンコーター（6K 回転数 & 6インチウェーハ最大） -

製品紹介

VTC-200P真空スピンコーターは、半導体、結晶、光ディスク、リソグラフィー、および関連アプリケーションにおける表面コーティングプロセス向けに設計されています。強酸または強アルカリ溶液を用いたコーティングの準備に適しています。

チャンバー自体は真空にできませんが、動作中はサンプルは真空チャック吸着によって基板ホルダーに固定されます。システムは最大12個のプログラムを保存でき、各プログラムには6つのシーケンシャルステージが含まれています。各ステージには異なる回転速度を設定でき、コーターは徐々に最高速度まで加速します。これにより、材料の無駄を最小限に抑えながら、サンプル表面への均一な薄膜形成を実現します。

チャンバーの上部カバーにはオプションで加熱機能を装備することができ、高粘度のフィルム材料のコーティングを容易にします。

VTC-200P 真空スピンコーターは、操作が簡単、清掃が便利、コンパクトな設計などの利点があり、大学や研究機関の研究室で薄膜製造に広く使用されています。

主な特徴

1. 本装置は12セットのプログラムを保存でき、各セットには6つの運転段階が含まれます。各段階の加減速速度の設定範囲は100rpm/s～2000rpm/s、各段階の時間範囲は0～60秒です。

2.サンプルは真空吸着によって固定されるため、操作が簡単です。

3.真空度は-0.08MPaまで達します。

4. 位置決めツールを使用してサンプルを簡単に中央に配置することができ、位置ずれによる振動や飛び出しを軽減できます。

5. サンプルの仕様に応じて異なるチャックを使用でき、交換が便利で簡単です。

6. 24VブラシレスDCモーターを採用しており、信頼性が高く、適応性が強く、修理とメンテナンスが簡単で、騒音が少なく、振動が小さく、動作が安定しており、起動が速く安定しており、加速後の動作が安定しており、コーティングの厚さの一貫性と均一性を確保できるなどの利点があります。

7. 本機はグローブボックス内で使用できますが、制御部と真空ポンプはグローブボックスの外側に設置する必要があります。

8.コーティングは不活性ガス雰囲気（アル、N2など）で行うことができます。

9. オイルレス平行棒真空ポンプは、小型、構造が簡単、操作が簡単、メンテナンスが便利、環境汚染がないなどの利点があります。

10. チャンバーは、化学腐食と優れた応力亀裂に対する耐性を向上させるために、より長い耐用年数を持つ PP 材料で作られており、機械本体は耐久性があり軽量な鋳造アルミニウム構造を採用しています。

11. 英語のオペレーティングシステム

12. カバーオープン保護機能を搭載しています。コーティング工程中またはコーティング終了時にトップカバーが開かれると、機械は直ちに急減速して停止します。

13. コントローラーは、より直感的で信頼性の高い 液晶 数値ディスプレイを備えた単一のコントロール ボックスを採用しています。

T技術的パラメータ

S標準アクセサリー

いいえ。	名前	数量	写真
1	真空チャック（φ100mm）	1個
2	Oリング	1個
3	中央ポジショナー/ロケーター（位置決めスタッド4個を含む）	1個
4	エポキシインジェクター/シリンジ（20ml）	1個
5	インジェクター/シリンジブラケット	1個
6	オイルレス真空ポンプ	1個

オプションアクセサリ

ロジスティクス