高真空マグネトロンスパッタリングコーティング装置

導入 の 研究室 コーティング 装置:

VTC-800G マグネトロン スパッタリング コーティング 装置 は a 小さい マグネトロン スパッタリング コーティング 装置 独立して 発展した による 私たち. 小さい コーティング 装置 は 広く 使用済み で その 準備 の シングル-層 または マルチ-層 強誘電体 映画, 導電性 映画, 合金 映画, 半導体 映画, セラミック 映画, 誘電 映画, 光学 映画, 酸化物 映画, 難しい 映画 そして ポリテトラフルオロエチレン 映画.

小さい コーティング 装置 できる なれ 装備 と a マルチ-ターゲット 銃 システム, どれの サポート 高周波 力 スパッタリング の 非-導電性 材料 そして DC 力 スパッタリング の 導電性 材料 に 会う 様々な プロセス 要件.

比較すると と 似ている 装置, VTC-800G 小さい コーティング 装置 は 小さい で サイズ, 簡単 に 操作する そして フレキシブル で 応用. それ は 一つの 理想的 選択 のために 研究室 準備 の 機能的 薄い 膜 材料, 特に 適切な のために 研究 そして 発達 の 新しい 材料 そのような として 固体 電解質 そして OLED.

主要 特徴 の 精度 コーティング 装置:

1. 小さい コーティング 装置 できる なれ 装備 と 複数 ターゲット 銃, サポート 高周波 そして DC 力 用品, どれの は 使用済み のために スパッタリング コーティング の 非-導電性 そして 導電性 ターゲット 材料 それぞれ, そして その ターゲット 銃 できる なれ 柔軟に 交換された として 必要;

2. 精度 コーティング 装置 は 互換性がある と その 準備 の 様々な 機能的 映画 そして もっている a 広い 範囲 の アプリケーション;

3. 精度 コーティング 装置 は 小さい で サイズ, コンパクト で 構造, 簡単 に 操作する, そして 適切な のために 様々な 研究室 環境;

4. 精度 コーティング 装置 もっている a モジュラー デザイン, そして その 真空 チャンバー, ポンプ グループ, そして 力 コントロール システム は 分離された そして できる なれ 柔軟に 組み合わせ によると に 実際の ニーズ;

5. 研究室 コーティング 装置 サポート 複数 力 コントロール 方法: シングル 力 供給 コントロール 複数 ターゲット 銃 または 複数 力 用品 独立して コントロール ターゲット 銃 に 会う 違う プロセス 要件.

テクニカル パラメータ の 精度 コーティング 装置:

製品 名前	マグネトロン スパッタリング コーティング 装置
製品 モデル	VTC-800G
主要 パラメータ	1. チャンバー 構造: 円筒形 トップ カバー デザイン, 後方 排気 システム. 2. 究極の 真空: 6.0×10-5 パ. 3. 真空 漏れ レート: ≤0.5 パ 内で 1 時間. 4. 排気 時間: について 30 分 から 雰囲気 に 5.0×10-3 パ. 5. 真空 ポンプ グループ 構成: 機械式 ポンプ + 分子 ポンプ. 6. サンプル ステージ パラメータ: · サイズ: Ø205 · 温度 範囲: 部屋 温度 ~ 500℃, 正確さ ±1℃ · 回転 スピード: 5~20rpm (調整可能). 7. バイアス 関数: オプション (使用済み に 改善する 膜 品質). 8. ガス 充填 システム: デュアル-チャネル 質量 流量計 (アルゴン/窒素 それぞれ) 9. ターゲット 頭 角度: その 角度 間 その ターゲット 頭 そして その 中央 軸 の その サンプル ステージ は 34° 10. 番号 の ターゲット 頭: 2 として 標準 (できる なれ 拡大 に 4 として 一つの オプション). 11. ターゲット 銃 冷却 方法: 水 冷却 12. ターゲット材質の仕様：直径Ø3″、厚さ0.1～5mm（ターゲット材質により異なります）
	13.マグネトロンスパッタリングコーティング装置の仕様： ・全体サイズ：700mm×1093mm×1380mm

私たちについて：

当社は長年にわたりフィルム製造分野に深く関わり、豊富な経験を有しています。同時に、お客様の多様なニーズにお応えできるよう、様々な材料に適した設備を豊富に取り揃えております。また、設備の効果検証も承っております。サンプルをご提供いただければ、当社でサンプルを作成し、製品の効果をより直感的にご確認いただけるようにいたします。製品にご満足いただけましたら、ご購入いただき、よりスムーズな作業の実現にご協力いたします。