高真空マグネトロンスパッタリング装置

マグネトロンスパッタリング装置の紹介：

VCTC の-600G高真空マグネトロンスパッタリングコーターは、独自に開発された新コーティング装置であり、単層または多層の強誘電体膜、導電性膜、合金膜、半導体膜、セラミック膜、誘電体膜、光学膜、酸化膜、硬質膜、ポリテトラフルオロエチレン膜などを作製するために使用できます。 VCTC の-600Gマグネトロンスパッタリング装置は、複数のターゲットガンを装備することができ、対応するRF電源は非導電性ターゲット材料のスパッタリングコーティングに使用され、対応するDC電源は導電性材料のスパッタリングコーティングに使用されます。 同様の装置と比較して、マグネトロンスパッタリング装置は広く使用されているだけでなく、小型で操作が簡単という利点もあります。 これは、材料フィルムの実験室調製に理想的な装置であり、特に固体電解質とOLEDの実験室研究に適しています。

マグネトロンスパッタリング装置の主な特徴：

·真空マグネトロンスパッタリング装置は複数のターゲットガンを装備することができ、対応するRF電源は非導電性ターゲット材料のスパッタリングコーティングに使用され、対応するDC電源は導電性材料のスパッタリングコーティングに使用されます（ターゲットガンは顧客のニーズに応じて自由に交換できます）。

·真空マグネトロンスパッタリング装置は、さまざまな薄膜を作製することができ、広く使用されています。

·真空マグネトロンスパッタリング装置は小型で操作が簡単です。

·機械全体はモジュール設計になっており、真空チャンバー、真空ポンプグループ、制御電源は分割設計になっており、ユーザーの実際のニーズに応じて調整できます。

·電源はユーザーの実際のニーズに応じて選択できます。1 つの電源で複数のターゲット ガンを制御することも、複数の電源で 1 つのターゲット ガンを制御することもできます。

真空マグネトロンスパッタリング装置の技術的パラメータ：

製品名	VCTC の-600G 高真空マグネトロンスパッタリング装置
製品モデル	VCTC の-600G
主なパラメータ	1.構造：デスクトップ前面ドア構造、背面排気システム。
	2. 到達真空度：6.0X10-5Pa。
	3. 漏れ率：1h≤0.5Pa。
	4.排気時間は大気圧から5.0X10-3まで約20分です。
	5.真空ポンプグループ：機械式ポンプ+分子ポンプ。
	6. サンプルステージ：φ140、室温-500℃、精度±1℃（実際のニーズに応じて温度を上げることができます）、回転は5rpm-20rpmで調整可能です。お客様のニーズに応じてバイアス機能を追加し、より高品質のコーティングを実現できます。
	7. ガス充填システム：質量流量計 2 台（アルゴン/窒素各 1 台）。
	8. ターゲットヘッドとサンプルステージの中心軸の間の角度は34°です。
	9. ターゲットヘッドの数: 3 (互いに 120°)。
	10.ターゲットガンの冷却方法：水冷。
	11. 対象材料サイズ：φ2″、厚さ0.1～5mm（対象材料により厚さは異なります）。
	12. 製品仕様： · 寸法: 完成機械サイズ：700mm×852mm×1529mm;

マグネトロンスパッタリング装置のオプションアクセサリ：

保証：

1 年間限定の永久サポート（不適切な保管条件による錆びた部品は除く）

ロジスティクス：

私たちについて：

当社はコーティング機の研究開発と生産に注力するハイテク企業であり、業界のリーダーでもあります。当社の製品はどれも設計者によって慎重に設計され、厳密にテストされており、機器の性能と精度は高いレベルにあります。当社は製品自体に焦点を当てるだけでなく、技術革新と顧客関係にも注意を払い、世界中の顧客に高レベルの実験機器を提供することに尽力しています。