高真空薄膜作製装置
1. 薄膜作製装置は瀋陽科晶の技術で開発されており、耐久性と安定性に優れています。
2. 自社工場で薄膜製造装置を製造・テストし、品質とコーティングレベルを確保しています。
3. フルサービスを提供しておりますので、安心してご利用いただけ、薄膜作製装置の役割を最大限に発揮していただけます。
- Shenyang Kejing
- 瀋陽、中国
- 22営業日
- 50セット
- 情報
研究用真空コーティング装置の紹介：
VTC-600GDマグネトロンスパッタリングコーティング装置は、新たに独自に開発されたコーティング装置であり、単層または多層の強誘電体薄膜、導電性薄膜、合金薄膜、半導体薄膜、セラミック薄膜、誘電体薄膜、光学薄膜、酸化物薄膜、硬質薄膜、ポリテトラフルオロエチレン薄膜などの作成に使用できます。 VTC-600GDマグネトロンスパッタリングコーティング装置は、最大4つのターゲットガン、非導電性ターゲット材料のスパッタリングコーティング用のRF電源、および導電性材料のスパッタリングコーティング用のDC電源を装備できます。 同様の装置と比較して、マグネトロンスパッタリングコーティング装置は広く使用されているだけでなく、小型で操作が簡単などの利点もあります。 これは、材料フィルムの実験室での準備に理想的な装置であり、特に固体電解質とOLEDの実験室研究に適しています。
研究用真空コーティング装置の主な特徴：
1. 最大 4 つのターゲット ガンを選択でき、対応する 無線周波数 電源は非導電性ターゲット材料のスパッタリング コーティングに使用され、対応する DC 電源は導電性材料のスパッタリング コーティングに使用されます (ターゲット ガンは、お客様のニーズに応じて自由に交換できます)。
2. 多様な薄膜を作製でき、幅広い用途に使用できます。
3. 研究用の真空コーティング装置は小型で操作が簡単です。
4.薄膜作製装置は機械全体がモジュール設計になっており、真空チャンバー、真空ポンプ群、制御電源は分割設計になっており、ユーザーの実際のニーズに合わせて調整できます。
5. 薄膜作製装置は、ユーザーの実際のニーズに応じて電源を選択できます。1つの電源で複数のターゲットガンを制御することも、複数の電源で1つのターゲットガンを制御することもできます。
研究用真空コーティング装置の技術的パラメータ：
製品名 | VTC-600GD マグネトロンスパッタリングコーティング装置 |
製品モデル | VTC-600GD |
設置条件 | この装置は、温度25℃±15℃、湿度55%ロジウム±10%Rhで使用する必要があります。 1. 水:研究用真空コーティング装置には、自己循環冷却水機（純水または脱イオン水で満たされている）が装備されています。 2. 電気: AC220V 50Hz、アース接続が必要 3. ガス: 装置チャンバーはアルゴン（純度99.99%以上）で満たされている必要があり、独自のアルゴンガスボンベ（Ø6mmダブルフェルールコネクタ付き）と減圧弁を準備する必要があります。 4.作業台：サイズ1500mm×600mm×700mm、耐荷重200kg以上 5. 換気装置：必須 |
主なパラメータ | 1.電源電圧：220V 50Hz。 2. 総電力: <3.5KW。 3.チャンバー内径：Ø300mm。 4. 究極の真空度 3.0x10-5良い。 5. 動作温度：RT-500℃、精度±1℃（実際のニーズに応じて温度を上げることができます）。 6. 標的銃の数：4。 7.ターゲットガンの冷却方法：水冷。 8. ターゲットサイズ：Ø2インチ、厚さ0.1mm～5mm（ターゲット材料により厚さは異なります）。 9. DCスパッタリング電力：500W（オプション）。 10.RFスパッタリング電力：300W。 11.サンプルステージ：Ø140mm。 12.サンプルステージ速度：1rpm〜20rpmの範囲で調整可能。 13. 保護ガス: アル、N2およびその他の不活性ガス。 14. 入口ガス経路: 質量流量計は 2 つの入口経路を制御します。1 つの流量は 100 SCCM、もう 1 つの流量は 200 SCCM です。 |
15.製品仕様： · 寸法: ・本体寸法：850mm×760mm×660mm ・体重：190kg |
マグネトロンスパッタリングコーティング装置の標準付属品：
| いいえ。 | 名前 | 数量 | 写真 |
| 1 | DC電力制御システム（オプション） | 1セット | - |
| 2 | RF電力制御システム | 1セット | - |
| 3 | 膜厚モニターシステム | 1セット | - |
| 4 | 分子ポンプ | 1ユニット | - |
| 5 | チラー | 1ユニット | - |
| 6 | ポリエステルPUチューブ（Ø6mm） | 4メートル | - |
薄膜作製装置のオプションアクセサリ：
| いいえ。 | 名前 | 関数 | 写真 |
| 1 | 金、インジウム、銀、プラチナなど様々なターゲット。 | （オプション） | - |
| 2 | オプションの強力な磁性ターゲットは、強磁性材料のスパッタリングコーティングに使用できます。 | （オプション） | - |
保証：
1 年間限定の永久サポート（不適切な保管条件による錆びた部品は除く）
ロジスティクス：
私たちについて：
当社はコーティング機の研究開発と製造に注力するハイテク企業であり、業界のリーダーでもあります。当社の製品はどれも設計者によって綿密に設計され、厳格なテストを経ており、高い機器性能と精度を備えています。製品そのものだけでなく、技術革新と顧客との関係にも配慮し、世界中のお客様にハイレベルな実験機器を提供することに尽力しています。
ご相談からアフターサービスまで、すべてのお客様に最高のサービスを提供いたします。専門チームがお客様に最適な機器のご提案、製品使用中の技術サポート、ご質問への回答、そしてプロジェクトの円滑な遂行をサポートいたします。長年の経験を活かし、より多くの企業の目標達成を支援できると確信しております。
瀋陽科景は、「実用的、献身的、勤勉、チームワーク、信頼性、革新性、責任感、顧客第一、高品質の製品、先進的なサービス」をモットーとし、国内外の顧客に素晴らしい製品とサービスを提供することに尽力しています。
業界の同業者やお客様との緊密な関係を維持するため、国内外の主要業界展示会にも積極的に参加しています。毎年、複数の重要な業界展示会で最新の技術と製品を展示しています。お客様と直接お会いできるこれらのプラットフォームを通じて、より多くの方々に当社を理解していただき、ご支援をいただいています。長年にわたり、これらのプラットフォームを通じて多くのお客様と協力依頼を獲得してきました。これは当社の実績を示すだけでなく、業界との繋がりを深めるための重要な手段でもあります。
