基板およびウェーハのコーティング用 3 ターゲット マグネトロン スパッタリング コーター

小型プラズマスパッタリングコーターのご紹介

ベトナム-600-3HD グローブボックス付き薄膜電池作製システムは、グローブボックス内での実験操作に使用でき、単層または多層の強誘電体薄膜、導電性薄膜、合金薄膜、半導体薄膜、セラミック薄膜、誘電体薄膜、光学薄膜、酸化物薄膜、硬質薄膜、ポリテトラフルオロエチレン薄膜などを作製するために使用されます。 小型プラズマスパッタリングコーターには3つのターゲットガンが装備されており、対応するRF電源を変換スイッチを介して任意のターゲットヘッドに接続できます。これは、さまざまなターゲット材料のスパッタリングコーティングに使用されます。 同様の装置と比較して、小型プラズマスパッタリングコーターは広く使用されているだけでなく、小型で操作が簡単という利点もあります。材料フィルムの実験室での準備に理想的な装置です。 小型プラズマスパッタリングコーターは、薄膜電池、固体電解質、OLEDの実験室研究に特に適しています。通常のマグネトロンスパッタリングと比較して、Liターゲットとリチウムベースの材料ターゲットのコーティング実験に使用できます。新エネルギー産業における実験室コーティング実験に最適な装置です。

3ターゲットRFマグネトロンスパッタリングコーターの利点：

1.3ターゲットRFマグネトロンスパッタリングコーターはモジュール設計を採用しており、真空チャンバー、真空ポンプグループ、制御電源が分割されており、ユーザーの実際のニーズに応じて調整できます。

2. 3 ターゲット 無線周波数 マグネトロン スパッタリングコーターは、ユーザーの実際のニーズに応じて電源を選択できます。 1 つの電源で複数のターゲットガンを制御することも、複数の電源で 1 つのターゲットガンを制御することもできます (オプション)。

3. 3ターゲットRFマグネトロンスパッタリングコーターはグローブボックス内で実験操作が可能で、コーティング実験では酸化されやすい様々なタイプのターゲット材料を交換することができます。

コンパクトプラズマスパッタリングコーターの技術的パラメータ：

3つのターゲットRFマグネトロンスパッタリングコーターの品質へのこだわり:

当社は、提供されるコンパクトプラズマスパッタリングコーターが新品かつ未使用であり、契約で規定された品質、仕様、性能要件を完全に満たしており、グローブボックスを備えた当社の薄膜電池準備システムが、正しい設置、正しい使用、メンテナンス条件下で、耐用年数内に正常に動作することを保証します。

保証：

1 年間の限定保証、生涯サポート（不適切な保管条件により錆びた部品は除く）

当社のサービス:

当社の製品は、優れた性能、安定した品質、長期にわたる耐久性で多くのお客様から認められています。当社には、製品の選択、設置と試運転、操作トレーニングなど、お客様に包括的なサービスサポートを提供できる専門技術チームがあります。使用中にどのような問題が発生しても、生産ラインが効率的かつ安定して稼働できるように、タイムリーで効果的なソリューションを提供するよう努めます。

私たちについて：

先日、シンガポール地区がアジアフォトニクスエキスポ（猿 2025）に参加し、研削盤、研磨機、コーティング機などの製品を展示しました。製品を詳しく知った後、多くのお客様が当社の機器を賞賛し、当社との協力を希望する意向を示しました。