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卓上真空レススピンコーター
VTC-50A スピンコーターは、モーター部と制御部に独立した電源システムを採用し、速度制御システムには干渉防止の高いシングルチップマイコンを採用して制御するため、回転速度は 1000 の範囲で非常に高速で安定しています。 -8000RPM。コーターは動作中に 2 つのステージ、つまり低速時の T1 ステージと高速時の T2 ステージから構成されます。
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スピンコーター（8K 回転数、最大4インチウェーハ）3真空チャック付き
VCTC の-100 真空スピンコーターには、異なるサイズの 3 つの真空チャック (標準) が装備されており、サンプルのサイズに応じて異なる真空チャックを使用できます。作業中、VCTC の-100 真空スピンコーターは真空プレート吸着方式を使用してサンプルをサンプルプレートに固定します。この装置は 2 段階プログラムを使用して速度を制御します。
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コンパクトスピンコーター（8K 回転数、最大4インチウェーハ）ローチャック設計
VCTC の-100B 真空スピンコーターは、VCTC の-100 真空スピンコーターのアップグレード版です。上部カバーは折り畳んで開閉でき、安全ロックが装備されています。同時に、カバー開放保護機能も備えており、オペレーターの安全性をより確実に保証します。
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プログラム可能な真空チャック スピン コーター (500 ～ 6000 回転数、最大 8 インチ)
VCTC の-200 真空スピンコーターは、操作が簡単、洗浄が便利、サイズが小さいという利点があります。主に大学や科学研究機関の研究室でのフィルム成長プロセスで使用されます。 VCTC の-200真空スピンコーターは作業中、真空プレート吸着方式を使用してサンプルをサンプルプレート上に固定します。この装置は2段階のプログラムで速度を制御します。
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高速スピンコーター（10K 回転数、最大5インチ）
VCTC の-100PA 真空スピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、プレート製造、表面コーティングなどに適しています。強酸および強アルカリコーティング溶液に使用できます。この装置には、サンプルのサイズに応じて、異なるサイズ（標準）の 2 つの真空チャックが装備されています。この装置は 12 セットのプログラムを保存でき、各セットには 6 つの実行ステージが含まれています。
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100ºC加熱カバー付き高速スピンコーター
VCTC の-100PA-I 真空スピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、プレート製造、表面コーティングなどに適しています。強酸および強アルカリコーティング溶液に使用できます。この装置には、サンプルのサイズに応じて、異なるサイズ（標準）の 2 つの真空チャックが装備されています。この装置は 12 セットのプログラムを保存でき、各セットには 6 つの実行ステージが含まれています。
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200℃加熱カバー付き高速スピンコーター
VCTC の-100PA-Ⅱ 真空スピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、プレート製造、表面コーティングなどに適しています。強酸および強アルカリコーティング溶液に使用できます。この装置には、サンプルのサイズに応じて、異なるサイズ (標準) の 2 つの真空チャックが装備されています。この装置は 12 セットのプログラムを保存でき、各セットには 6 つの実行ステージが含まれています。
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高速スピンコーター（10K 回転数、最大5インチ）UVカバー付き
VCTC の-100PA-紫外線 UVスピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、製版、表面コーティングなどに適しています。上部カバーはUV光源を採用しており、特にUV光に敏感な材料に適しており、コーティングされたフィルムを素早く固めることができます。また、UVランプには重合機能もあり、モノマーをポリマーフィルムに重合することができます。
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耐腐食スピンコーター (6K 回転数 &アンプ; 6インチ ウェーハ最大)
VCTC の-200P 真空スピンコーターは、半導体プロセス、結晶、光ディスク、製版、表面コーティングなどに適しています。この装置は 12 セットのプログラムを保存でき、各セットには 6 つの実行ステージが含まれています。チャンバーの上部カバーはサンプルを加熱することができ (オプション機能)、高粘度の薄膜材料のコーティングプロセスに役立ちます。
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